設(shè)備名稱:自動(dòng)晶圓電鍍設(shè)備
設(shè)備系列:ECP系列
設(shè)備分類:生產(chǎn)型(P),研發(fā)型(R)
工藝類別:晶圓電鍍
晶圓尺寸:4-12inch
工藝類型:Au, Cu, Ni, Sn, Ag,Pd, Au/Sn alloy...
工藝應(yīng)用:RDL,PillarBumpTSV I
工藝操作:自動(dòng)
晶圓類型:Si, GaAs, GaN, InP,SiC, Ceramic, Glass ...
晶圓尺寸:2?12inch,異型片